Криогенное крупномасштабное оборудование для разделения воздуха называется оборудованием для разделения воздуха », которое использует воздух в качестве сырья, преобразует воздух в жидкое состояние с помощью цикла сжатия глубокое замораживание, а затем постепенно отделяет его от жидкого воздуха через исправление для производства кислорода, азота и инертных газов, таких как аргон.

Самоочищающий фильтр обычно увеличивается с увеличением объема газа, количество фильтровальных картриджей увеличивается, а количество слоев выше. Как правило, он расположен в двух слоях выше 25000 и три слоя выше 60000; Как правило, один компрессор должен быть расположен с фильтром отдельно и в верхней части воздуха одновременно.